規格參數

 LZ-3020CNC/LZ-4030CNC/LZ-5040CNC/LZ-6050CNC/...

工

作

臺

X/Y軸行程

 300MM*200MM/400MM*300MM/500MM*400MM/600MM*500MM/...

Z軸行程

 有效空間245mm,調焦行程200mm，工作距離90mm

金屬臺面尺寸

 550MM*450MM...

玻璃臺面尺寸

 430MM*330MM...

傳動型式

 傳動型：X/Y/Z軸臺灣進口精密線性導軌和臺灣進口研磨級滾珠螺桿 

 測量伺服驅動系統

 三軸金屬貼片尺 分辨率：X/Y/Z軸0.0002MM（0.2UM）

 測量精度：≤2.5UM+L/200 重復精度：≤2.5UM

 X/Y/Z三軸臺灣高性能閉環伺服電機，雙重閉環控制系統

 影像系統

 攝像機：SONY 1/2″CCD 攝像機放大倍率40-230X

 自動連續變倍鏡頭：高清變倍鏡頭//連續放大倍率0.7-5.0X

 光源系統

 5環8區表面光源與透射光源LED冷光源、壽命長、亮度可調

儀器外形尺寸（L*W*H）

 800MM*900MM*1650MM...

 儀器重量（KG）

 380KG...