基本參數  Basic Parameter

全自動閃測儀

SMART Automatic flash measuring image Equipment

型號

Model

視野（mm）

Field

測量范圍（mm）

Measurement range

運動行程（mm）Travel

外部尺寸（mm）External Size

重量（kg）Weight

承重（kg）

Capacity

LZ2025P

大視野：φ100×80

大視野：200×200

X軸120

Y軸140

Z軸75

532×440×766

50

5

小視野：φ25×20

小視野：130×130

光學測量精度(±2σ) (μm)

Accuracy

大視野測量模式：     

Wide filed   

無拼接：±5 ^*1；
          Without splicing: ±5 ^*1；

          有拼接：±(7+0.02L) ^*3；

               With splicing：±(7+0.02L) ^*3

小視野測量模式：  

Small field

無拼接：±1 ^*2；
Without splicing: ±1 ^*2；

有拼接：±(3+0.02L) ^*4；

Splicing：±(3+0.02L)^*4；

重復精度(μm)

Repetition accuracy

大視野測量模式：    

Wide filed

無拼接：±1；
          Without splicing: ±1；

          有拼接：±2；
          Splicing：±2；

小視野測量模式：   

Small field

無拼接：±0.5；
Without splicing: ±0.5；

有拼接：±1.5；
Splicing：±1.5；